半導體無(wú)塵車(chē)間或潔凈區只布置必要的工藝設備，以及有空氣清潔度等級要求的工藝和潔凈設備。半導體無(wú)塵車(chē)間工程工藝布車(chē)間設計綜合考慮協(xié)調，布局合理緊湊。在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的半導體無(wú)塵車(chē)間潔凈室或潔凈區應靠近空調室，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室應集中布置，空氣潔凈度等級低的工作室應靠近潔凈區人口。凈化無(wú)塵車(chē)間工程中空氣清潔度高的工序應布置在上風(fēng)側，易污染的工藝設備應布置在靠近回風(fēng)口的位置。應考慮大型設備安裝維護的運輸路線(xiàn)，并預留設備安裝口和維修口。
半導體無(wú)塵車(chē)間工程周?chē)牡缆访鎸討x用完整性好、粉塵少的材料。應設置環(huán)形消防車(chē)道（可使用的交通道路）。如有困難，可沿工廠(chǎng)兩個(gè)長(cháng)邊設置消防車(chē)道。無(wú)塵車(chē)間工程周?chē)鷳M(jìn)行綠化。草坪可以鋪設，樹(shù)木對大氣粉塵濃度沒(méi)有有害影響，形成綠色社區。但不得妨礙消防操作。
半導體無(wú)塵車(chē)間工程應遠離碼頭、機場(chǎng)、交通要道、工廠(chǎng)、倉庫、堆場(chǎng)等有嚴重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區域，排放大量粉塵和有害氣體。如果不能遠離嚴重的空氣污染源，應位于其大頻率風(fēng)向上風(fēng)側或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側；
半導體無(wú)塵車(chē)間工程應布置在環(huán)境清潔、人流、貨流不交叉或少穿越的地區。半導體無(wú)塵車(chē)間工程與交通干道的距離不小于50米。對于具有微振動(dòng)控制要求的半導體無(wú)塵車(chē)間工程的位置選擇，應實(shí)際確定周?chē)F有振動(dòng)源的振動(dòng)影響，并與準確的設備和準確的儀器進(jìn)行分析和比較。當半導體無(wú)塵車(chē)間工程中高頻風(fēng)向上風(fēng)側有煙囪時(shí)，半導體無(wú)塵車(chē)間工程與煙囪的水平距離不得小于煙囪高度的12倍。
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